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设备：硅片清洗机
适用于8寸、6寸、5寸晶圆片
板材可选：闽台水兴、德国simona(喜美乐） 德国ROCHLING（劳士领）
设备概要：人工拿Cassette于制程槽，加热清洗后，待时间到，再拿到QDR清洗
本体构成：
       骨架：SUS304*50*50*2MM方管焊接
       板材：WPP10MM板
       定位：底部附万向调整脚轮4只，
       移门：采用手动上下拉门，可停留任意位置
       管路系统：位于设备下方，
       气压控制：*特的导风板设计，可抽走不同比重之气体，保持操作区负压，确保操作人员安全
       控制系统：电气系统以传统机械式做过程控制，人员操作则是经由按键手动方式做单一操作
槽体构成： 
        1号槽：H2SO4加热槽
        Style:static
        尺寸:360*360*400
        材质：PVDF材质配同等材质焊条焊接
        药液：H2SO4=H2O2
        加热器：美国原装进口PFA材质投入式加热器，
        2号槽：QDR槽
        材质：PP板焊接
        溢流功能：溢流槽底部加装手动阀，可定期排除重金属杂质
        药液：DIW
        3号槽 H槽
        材质：PVDF材质配同等材质焊条焊接
        药液补充：隔膜泵补充，手动按扭，确保操作人员安全